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最終更新日時: 2018/03/29 14:41:03
法人番号:1110001023962

株式会社コアシステム

レーザ走査式表面形状検査機で超微細面を判別

超高感度レーザ走査式表面形状検査機の開発・設計製造・販売・メンテナンスを行う。磁気ディスクや半導体ウエハ、半導体製造プロセス、薄膜スパッタ処理、FPDなどの、製造工程中の超微細表面形状判別に有用。平坦な鏡面状態の表面形状検査に対応し、特に磁気ディスク表面の微小異物や半導体ウエハ表面CMP研磨/製造プロセスのエッチング時間と表面粗さの関係、FPDラビングプロセスなどの微細形状の違いなどを微細に速く検出し、デジタルデータと画像表示する。

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その他のアピール

【企業の強み】
技術開発の着眼点は、顧客が抱えている課題を解決するためには、どうすれば課題解決になるのかを考えて、社内実験を重ね可能性が大きい方式を、顧客と一緒に具体化して商品化を図っております。そのプロセスの中で固有技術にする事です。

【事業内容】
レーザ走査式表面形状検査機(当社特許応用商品)の技術開発・設計製造・販売・メンテナンスサービス事業。磁気ディスク・半導体ウエハ・半導体製造プロセス・薄膜スパッタ処理・FPD等、製造工程中の超微細表面形状判別に有用。平坦な鏡面状態の表面形状検査に対応。特に、磁気ディスク表面の微小異物・半導体ウエハ表面CMP研磨/製造プロセスのエッチング時間と表面粗さの関係・FPDラビングプロセス等の微細形状の違いを、微細に速く検出しデジタルデータと画像表示するレーザ走査式表面形状検査機。

【業種】
レーザ走査式表面形状検査機製造

【製品・技術の強み】
表面形状検査は、レーザビーム照射光が検査表面で、反射する際に「1つの方向の直接反射光」と「多数方向の散乱光」が発生します。当社の検出方式は「直接光検出=明視野」で、誤差が極めて少なく、高さ検出感度が極めて高いです。他社の検出方式は殆どが「散乱光検出=暗視野」で、特に表面異物検査では「光が反射しないゴミ=スパッタのゴミなど、表面に多数凹凸がある」等は、検出が困難で誤差が大きいです。当社の高速走査は、最大10MHzでサンプリングするため、振動に極めて強く防振装置も除振台も一切不要で設置環境に強いです。最大の特徴は、機構がシンプルで価格が安く、広い検査表面を高精度・高感度・速く・デジタルデータ画像表示ができます。

【代表者メッセージ】
販路開拓・海外展開につきまして、自社製品の技術優位性と差別化を際立たせるために、当初はアメリカの大手DISKメーカの技術開発部門に、PRして3台受注販売納入をしましたが、国内は技術開発よりも製造部門で量産製品の全数検査の要求が強く、チャンピオンを検出するよりも良否判定を求められました。更に東南アジアの客先は、日本での納入実績で判断する傾向が強いです。顧客の要求レベルにマッチングできる、業界標準の検査機となれるように技術性能・使い勝手・メンテナンス・価格を打ち出す努力をし事業展開を進めたいと思います。

【販路開拓・海外展開に向けた社内体制】
販路開拓・海外展開について、情報収集と営業はそれぞれの業界で、行動力と実績がある販売商社と連携して、客先への技術・商品説明、並びに展示会出展は、販売商社とともに行動をします。特に客先の「検査対象製品のサンプルを借りて、立会デモ測定を実施し、顧客に検査データの違いを実感して頂き、PR展開・拡販受注を図りたい」と考えております。

【シェア・ランク】
「世界半導体ウエハ表面検査機の市場と予測」Jetro business Library 世界半導体製造装置/検査装置市場年鑑2011(グローバルネット社刊)2011年実績:1,462億円、2014年予測:1,589億円。当社の販売実績:合計15台/12年間、販売合計金額:2億8,000万円。今後5年以内販売目標世界市場の0.3%:5億円/年達成。

【表彰・メディア掲載】
【表彰実績】
平成20年度関東地方発明表彰「レーザ走査式表面微細形状測定技術」が「中小企業庁長官奨励賞」受賞。発明者:篠﨑亮、岩田哲也。「実施功績賞」を社団法人発明協会より、株式会社コアシステム代表取締役小埜寺正臣受賞。

【メディア記載】
H.15.03.25.日刊工業新聞「レーザ光で不良判断コピードラム向け」(富士電機)第1号機/ H15.10.07.日刊工業新聞・H15.10.23.新潟日報「ハードディスク表面形状測定機」試作機/ H15.11.25.日刊工業新聞「米社からディスク表面測定機を受注」/ H21.12.18.日刊工業新聞「半導体レーザ使った検査装置、公的機関で性能検証」/ その他多数。

【証明・許認可】
中小企業経営革新支援法第4条第3項の規定に基づき承認。平成14年1月26日 新潟県知事 平山征夫

【共同研究・開発実績】
1.特許第3810749号「形状測定装置」平成18年6月2日登録済。現在応用商品展開中。
2.特許願PCORD14250 特願2014-140926「形状測定装置」提出日平成26年7月8日。

【主要取引先:実績(国内)】
富士電機にコピードラム表面形状検査/ 長岡技術科学大学電気系液晶デバイス研究室に液晶の配向状態表面形状検査/ 富士フイルムにフイルムの内部偏析検査/ 住金ファインテックにマスクブランク(石英)研磨加工表面形状検査/ 田中貴金属工業に超電導素材の表面形状検査/ コベルコ科研にSiウエハΦ450mm表面形状検査/ キャノンにMEMS加工表面形状検査/ パナソニックセミコンダクタにSiウエハ 表面エッチング時間と表面粗さの関係検査

【主要取引先:実績(海外)】
2004.03.Komag INC.USA(現Western Digital)に、DISK用レーザ表面形状検査機代理店Marubeni,America Corp.CA USAより納入/ 2005.06.Seagate USAに、DISK用レーザ表面形状検査機を販売店Peripheral Technologies CA USAより納入。

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中小機構 関東本部
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